SY-DT03 低温等离子体处理仪

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SY-DT03 低温等离子体处理仪

1）技术参数：

　　2）产品特点：
　　
　　 RF射频晶体管等离子发生源，全自动阻抗匹配。
　　
　　柜式结构，真空泵内置，有效节约占地面积。
　　
　　万向底轮设计，方便设备移动。
　　
　　高强度石英石玻璃腔体，易清洁、耐腐蚀。
　　
　　置物方式多样化，可平放、可悬挂。
　　
　　外置环形电极，有效避免对腔体内的污染。
　　
　　真彩色全中文界面触摸屏，画面清晰，操作方便。
　　
　　PLC自动控制，功能齐全，所有运行参数可自行设置并监控，主要功能包括：手动模式/自动模式任意切换、PID自动调节、自动操作、自动报警功能（如：相序异常、真空泵异常、真空泵过载、气体报警、放空报警、电源无功率输出报警、真空度过高报警、真空度过低报警等）、实时监控画面、配方管理及密码管理功能。
　　
　　3）应用范围：
　　
　　适用于实验各种材料的表面改性处理，包括：清洗、活化、刻蚀、沉积、接枝与聚合等。