半导体行业专用冷水机

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在激光加工设备运行的过程中，冷水机通过对激光器进行控温，保持激光器腔体无热变形，出光功率稳定和保证光束质量，提高激光器的使用寿命和切割精度，这种冷水机又称为激光冷水机。下面我们一起来讨论一下激光冷水机水质要求对激光器的重要性。

1.对CO2玻璃管激光器来讲，两端镜片出属于水流死角，很容易滞留水中的杂质，造成散热不良，镜片的微变形直接影响激光器的输出光束质量和光斑模式。

2.对射频激光器来讲，散热板聚集水垢和铜锈等杂质会造成腔内温度过高电极板变形，进而温度传感器报警，激光器不出光等故障产生。　　

3.对YAG激光器来讲，泵浦灯、晶体和镀金腔的表面洁净度直接影响出光功率和光斑模式；半导体模块内微小水孔堵塞直接会烧毁巴条。　　

市面上大多是冷水机冷媒管采用铜管，而蒸发盘直接置于冷却水中，会产生大量的铜锈，直接影响激光器。很多无过滤器的是冷水机直接加自来水或者使用长时间不更换的纯净水，都会使滋生的细菌和杂质沉积到激光器，影响激光器的寿命和使用效果。

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