伯东 KRI 霍尔离子源 eH 2000 特性：
1.水冷 - 与 KRI 霍尔离子源 eh 1000 对比, 提供更高的离子输出电流
2.可拆卸阳极组件 - 易于维护; 维护时, 最大限度地减少停机时间; 即插即用备用阳极
3.宽波束高放电电流 - 高电流密度; 均匀的蚀刻率; 刻蚀效率高; 高离子辅助镀膜 IAD 效率
4.多用途 - 适用于 Load lock / 超高真空系统; 安装方便
5.高效的等离子转换和稳定的功率控制
伯东 KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列在售型号及技术参数:
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离子源型号
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霍尔离子源
eH2000 |
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Cathode/Neutralizer |
F or HC |
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电压 |
50-300V |
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电流 |
10A |
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散射角度 |
>45 |
| 可充其他 | Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others |
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气体流量 |
2-75sccm |
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高度 |
4.0“ |
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直径 |
5.7“ |
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水冷 |
是 |
伯东 KRI 霍尔离子源 eH2000 应用领域：
1. 离子辅助镀膜 IAD
2. 预清洗 Load lock preclean
3. 预清洗 In-situ preclean
4. Direct Deposition
5. Surface Modification
6. Low-energy etching
7. III-V Semiconductors
8. Polymer Substrates
医用拖鞋（衣物）臭氧消毒柜
市场价：3000.00元/台
三槽污物清洗槽
市场价：800.00元/台
污物清洗槽（双槽）
市场价：2000.00元/台
ICP等离子刻蚀机
CCP等离子刻蚀机
污物下收车
市场价：1000.00元/台
电动密封下送车
市场价：1000.00元/台
科研型等离子清洗机PLUTO-T
伯东企业（上海）有限公司
经营模式：
所在地区：上海 浦东新区
成立时间： 1995年
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