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KRI 考夫曼离子源 KDC100

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上海伯东代理美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 100, 属于中型规格栅网离子源. 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射.

离子束流: >400 mA; 离子动能: 100-1200 V; 流量: 2-20 sccm; 中和器: 灯丝.

采用双阴极灯丝和自对准栅网.加热灯丝产生电子, 增强设计输出高质量, 稳定的电子流.

离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.

通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.


伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 100 技术参数:

 离子源型号

 离子源 KDC 100 

Discharge

DC 热离子

离子束流

>400 mA

离子动能

100-1200 V

栅极直径

12 cm Φ

离子束

聚焦, 平行, 散射

流量

2-20 sccm

通气

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型压力

< 0.5m Torr

长度

23.5 cm

直径

19.4 cm

中和器

灯丝

可选可调角度的支架


伯东KRI 考夫曼离子源 KDC 100 应用领域:

1.溅镀和蒸发镀膜 PC

2.辅助镀膜(光学镀膜)IBAD

3.表面改性激活 SM

4.离子溅射沉积和多层结构 IBSD

5.离子蚀刻 IBE

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