科探标准复合分子泵机组是一台清洁的高真空获得设备

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科探标准复合分子泵机组是一台清洁的高真空获得设备。此设备是根据真空知识原理，利用机械泵、涡轮分子泵组合成的真空获得系统，具有启动时间快、真空度高、操作方便等特点。广泛应用于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件制造及真空的各个领域。设备的具体组成主要包括真空测量系统、真空室、阀门及真空管路、电器控制系统等

三：主要技术要求

1．控制方式：手动人机界面控制

2．前级泵：双极4旋片真空泵

3．前级泵抽气速率：2.2L/S （对真空环境要求洁净的客户可选配无油干泵）

4．前级泵极限压强：≤5Pa

5．分子泵：FF-100/150 51000转/分

6．分子泵抽气速率：140L/S

7．分子泵启动时间：≤2min

8．空载极限压强：≤1X10-4Pa

9．真空测量范围：冷阴极标准规管 1E﹢2到1E-5 Pa

10．抽气接口：KF25

11．阀门类型：KF25手动挡板阀