PFA氟化氢装置是一种专用于氟化氢(HF)及含氟化合物处理的特种设备,其核心优势在于PFA(全氟烷氧基树脂)材料的强耐腐蚀性、高纯度和耐温性,适用于半导体、化工及核工业等领域的高纯氢氟酸制备与回收。
一、核心构成
反应单元
PFA反应瓶:圆底/平底烧瓶(250mL-50L),可选单颈、三颈或四颈设计,带液位计观察窗,接口标准为17/19/24口,螺纹密封便于拆洗。
蒸馏模块:PFA夹套反应釜或圆底烧瓶,配套PFA蒸馏头、尾接管,支持高温蒸馏(≤260℃)与真空操作。
冷凝单元
PFA冷凝管:蛇形或直形设计,可连接液氮或乙醇-干冰冷媒实现-80℃低温冷凝。
收集与辅助单元
接收装置:PFA接收瓶(100mL-3L)或FEP试剂瓶,带放液阀,透明材质便于观察。
分液系统:恒压滴液漏斗(PFA/FEP材质)或分液漏斗,支持惰性气体保护,避免污染。
精馏塔(高纯需求):PFA填料塔,理论塔板数达50级以上,搭配再沸器深度提纯HF。
二、核心特性
耐腐蚀性:耐受HF、王水、强酸强碱,无金属离子析出(如Na/Fe/Cu析出<0.1ppb),满足半导体级HF杂质控制(<0.5ppt)。
耐温性:适用-200℃至+260℃,高温抗蠕变优于PTFE。
透明可视:半透明材质便于观察液位、反应状态及气泡现象。
三、典型应用
半导体制造:电子级HF(金属杂质<1ppb)提纯,用于12英寸晶圆清洗。
氟化工:含氟化合物合成、废HF回收及核燃料处理。
制药/石油:含氟有机物冷凝回收,提升产品纯度。
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