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北京华旭世纪科技有限公司
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华旭世纪HXMF02系列气体质量流量计/控制器

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::产品描述::

北京华旭世纪HXMF02系列气体质量流量计/控制器,采用了毛细管热传感技术和热温差原理,即流动中的流体与热源之间热量交换关系,来测量和控制气体的质量流量。由于热温差只和气体的质量流量有关,因此其测量值不受气体的温度和压力变化的影响。

HXMF02系列小流量热式质量流量产品,采用了紧凑型设计,体积小巧精致,产品坚固耐用。产品使用了线性化校正电路和EMI保护,具备安全可靠、性能稳定、低功耗、寿命长等特点。    

在数据传输上,不但具备传统的有线式,还具备局域网无线传输数据,互联网远程数据监控云平台等强大功能。可有效地满足各种客户的不同工况需求,广泛应用于诸多工业和科研领域。

 

::产品特色::

● 快速响应

● 超高性价比

● 测量精确,出色的长期稳定性

● 可测量腐蚀性气体,坚固耐用

● 精巧的外观设计,全面的安全保护电路及EMI

● 可配专用显示表,显示瞬时流量

● 诸多选项:高精度、自定义量程、流量信号无线传输

            远程数据监控云平台、短信报警、邮件报警等

 

::典型应用::

· 光伏及晶体制备   · 真空行业及镀膜   · 泄漏检测· 炉窑及微反应装置   

· 半导体行业   · 大学/研究所· 分析仪器   · 气体混合配比   

· 计量及计价· 燃料电池   · 燃烧测试   · 其它气体测控场合

 

::性能指标::

介质要求:与介质兼容的气体,支持腐蚀性气体

介质种类:客户指定,也可现场更改-需咨询我们

标定工况:0℃ @ 1 atm(氮气)

测控量程:0~5sccm到0~30slm任选

量程比:50:1 

精度:±1.5%满量程(>15L为2%) 高精选项:±1%满量程、±1%读数

重复性:±0.2%满量程

流量分辨率:0.1%满量程

响应时间:2S

阀门状态:常闭(仅控制器,流量计无阀门)

工作温度:5~45℃

工作湿度:0~100%RH(无冷凝)

工作压差范围:流量计 0.02MPa~3MPa

             控制器 0.1~0.5MPa(>10SLM为0.1~0.3MPa)

最大耐压:3MPa,可选高压选项10MPa

输入输出信号:标准为0~5V

             可选4~20mA、1~5V、Modbus、RS485

输入输出电气参数:输入阻抗>100kΩ,输出电流<3mA

供电电压:+15VDC@50mA  -15VDC@200mA

电气接口:DB 15pin

泄漏率:≤1×10-9次方Pa·立方米 /S(He)

接液材质:316L SS

密封材料:根据气体种类由厂家选择或客户指定,包括:PTFE、氟橡胶FKM、全氟橡胶FFKM、NBR、EPDM、CR、VMQ,等

管道接头:1/4〃VCR,1/8、1/4、3/8双卡套,3、6、8、10mm双卡套

外形尺寸:×宽×高:127×30×100mm

产品重量:流量计0.72kg         控制器0.88kg

 

::订购信息::

· 流量计或控制器   · 气体种类   · 流量范围   · 工作温度         

· 入口压力   · 出口压力 · 管道连接尺寸和类型        

· 输入/输出信号 · 安装姿势   · 选项及其它特殊要求:请咨询我们

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电 话: 86-010-80805981
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