MDPlinescan

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　　应用范围：灵活的OEM设备，用于多种不同样品的在线寿命测量：从单晶硅到多晶硅锭，从生成态晶圆片到不同镀层或金属化晶圆的过程控制。标准软件接口，易于连接到许多处理或自动化系统。
　　
　　在线面扫和单点检测
　　
　　MDPlinescan是一个易于集成的OEM单元，可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描。
　　
　　样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从晶锭到晶圆的检测，每个晶圆的测量速度小于一秒。
　　
　　电池生产线上的来料质量检查是最常用的一种应用方向，同样，钝化和扩散后的工艺质量检查也能用到此款产品。
　　
　　还有许多其他的专门应用可能性。由于其易于集成，只需要以太网连接和电源。
　　
　　特性
　　
　　允许单片调查
　　
　　配方的基础测量
　　
　　监控材料质量、工艺的完整性和稳定性
　　
　　优势
　　
　　在μ-PCD或稳态激发条件下测量少数载流子寿命和电阻率是这个工具的重点。
　　
　　用于集成在生产线的多晶或单晶硅晶圆在不同的准备阶段，直到设备，砖或锭。
　　
　　小尺寸和标准的自动化接口使集成变得容易。重点是长时间的可靠性和测量结果的精度。

技术参数：

样品	多晶或单晶晶圆原料, 晶锭，晶胞
样品尺寸	大约50 x 50 mm2
电阻率	0.2 - 103 Ohm cm
conduction type	p, n
材质	硅晶圆，部分或完全加工的晶圆，复合半导体等
测量属性	载流子寿命
硬件接口	ethernet
大小	174 x 107 x 205 mm, 重量t: 3 kg
电源	24 V DC, 2 A