EMS 150R S – 紧凑型机械泵溅射仪，适合非氧化金属
EMS 150R E – 紧凑型机械泵镀碳仪
EMS 150R ES –集成了离子溅射和碳蒸镀两种沉积功能的紧凑型机械泵镀膜仪
技术参数
仪器尺寸585mm W x 470mm D x 410mm H (打开镀膜头时总高 650mm)
重量28.4kg
包装尺寸725mm W x 660mm D x 680mm H (36.8kg)
工作腔硼硅酸盐玻璃，152mm Ø (内) x 127mm H
安全钟罩PET材质
显示145mm 320 x 240 彩色图形TFT (Thin Film Transistor)显示
用户界面直观全图形界面，触摸屏控制
溅射头标配 57mm Ø、0.1mm厚金靶(Q150R S，Q150R ES)
样品台50mm Ø旋转样品台，带6个15mm、10mm、6.5mm或1/8”钉形样品座孔，旋转速度8-20 rpm
真空
机械泵Edwards RV3 50L/s双程机械泵
真空测量标配Pirani规
极限真空2 x 10-2mbar
工作真空3 x 10-2 mbar与5 x 10-1mbar之间
操作过程
溅射0-80mA，最大溅射时间60 min
碳蒸镀电流脉冲：碳绳，1-60 A;1.4mm Ø碳棒，1-90 A
辉光放电0-80mA，DC+及DC-模式
其它
工作气体Ar气，99.999%，N2为排放气体(选件)
电源90-250V ~ 50/60 Hz 1400 VA
认证CE
联系方式
联系人：陈先生 先生 (经理)
电 话：
86-020-38844987
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