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真空镀膜仪108manual

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  108 manual是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

  主要特性

  通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。

  操作容易快捷,控制的参数包括放气以及氩气换气控制。

  通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪(选件)在达到设定膜厚时停止喷镀过程。

  可用MTM-20高分辨膜厚控制仪(选件)手动停止喷镀过程。

  数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。

  可使用多种金属靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶为标配),靶材更换快速方便。

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