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高精度程控匀胶机

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>= 1

价格

¥32000.00元/台

供货数量:1000台

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二. 技术参数
型号
参数
SYSC-100A SYSC-100B SYSC-100C
可镀膜基片尺寸 圆形Ø5~100mm;方形5×5~70×70mm
旋转速度 0~8000rpm 0~10000rpm
转速分辨率 1rpm
速度精度 <0.02%
旋涂加速度* 0~20000rpm/s 0~40000rpm/s 0~50000rpm/s
每步加速时间 0~999.9s
每步旋涂时间 0~9999.9s
时间分辨率 0.1s
预吸片时间 99s
解吸片时间 99s
*最大旋涂加速度为有负载条件下(使用≤Ø50mm 基片)的真实加速度. 基片尺寸>50mm 时的最大加
速度视基片尺寸而定。

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