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上海沛沅仪器设备有限公司
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等离子清洗机PLUTO-M

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PLUTO-M参数(标准配置)

真空腔尺寸

不锈钢腔体,φ210mm*230mm

电极尺寸

多控自适应平板电极125*125mm

等离子体发生器

RF射频发生器,频率:13.56MHz;自适应阻抗匹配电源

功率

0-200W连续可调,精度1W

真空计

热电偶真空计 0-1000mT

供气

1路气体,6mm国标连接件(软管)

控制方式

4.3寸触摸屏,多级应用菜单,操控简易快捷

抽气装置

飞跃 VRD-8,二级油泵8m3/h

外部尺寸

404*640*615mm

 

     

纯铝腔体

间距可调电极

等离子体发生器

RF 13.56MHz 300W/500W,自动阻抗匹配电源

气体收集装置

用于收集等离子体化学反应后的气体

小型氧气发生器

用于制备氧气,可取代氧气罐

气体混合装置

可根据客户要求进行混气设计

加热电极模块

电极可以加热,室温-200℃可调

光谱仪模块

可增加光谱仪的接口,检测等离子体光谱变化

电极转换模块

可自由变换电极设计,样品可放在射频电极上,也可以放在地电极上,从而实现不同的处理效果


控制等离子浓度和方向

通过转换电极正负极和电极之间距,可控制等离子体浓度和反应方向


加热电极模块

温度可控,可以加速等离子体处理速度和极大提高样品处理的均匀性


沉积镀膜模块,改变表面特性

沉积CF材料,样品表面可以具有憎水的特性

沉积含苯材料,样品表面起到绝缘防水的特性

沉积含有羟基的材料,提高样品表面和其他材料的结合效果


化学反应

气体纯化和使用等离子体与相关材料进行化学反应


粉体处理装置

用于处理微纳米级别颗粒


感应耦合模块

感应耦合等离子体装置


气体混合装置

可以根据可以要求进行混气设计


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